Chimie en microélectronique

Availability:
Ebook in PDF format. Available for immediate download after we receive your order

DRM:
ACS4

Publication Year:
2021

ISBN-13: 9782746289185

Présentation des chimies et des séquences utilisées lors des procédés de production de la microélectronique, des nettoyages jusqu'aux gravures des plaquettes de silicium, de l'impact de leur niveau de pureté jusqu'aux procédés d'interconnexion des millions de transistors composant un circuit électronique. Sont exposées les nouvelles fonctionnalisations spécifiques.