Contraintes mécaniques en micro, nano et optoélectronique

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ACS4

Publication Year:
2021

ISBN-13: 9782746237414

Description des mécanismes de génération et de relaxation des contraintes internes dans les interconnexions et dans les dispositifs pour la microélectronique, la nanoélectronique, la spintronique et l'optoélectronique. Présentation des effets des contraintes sur les propriétés des composants. Point sur les méthodes de mesure et de prévision des contraintes et sur les perspectives de contrôle.