Matériaux piézoélectriques intégrés sur silicium
Emmanuel DEFAY
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Publisher:
Lavoisier-Hermès
Lavoisier-Hermès
DRM:
ACS4
ACS4
Publication Year:
2021
2021
ISBN-13:
9782746241237
Description:
Cette étude, dédiée aux couches minces piézoélectriques, expose les bases théoriques de façon exhaustive, tout en ajoutant d'autres notions essentielles que sont le formalisme mécanique contrainte-déformation, le formalisme diélectrique et également une partie importante sur la propagation des ondes acoustiques.
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