Les micromachines

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ACS4

Publication Year:
2021

ISBN-13: 9782746227590

Retrace l'histoire encore récente des machines électromécaniques de dimensions micrométriques. Les progrès fulgurants réalisés au cours des dernières années et les évolutions actuelles démontrent que les micromachines à base de technologie silicium sont appelées à jouer un rôle important à l'aube du XXIe siècle.