Techniques de fabrication des microsystèmes Volume 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Availability:
Ebook in PDF format. Available for immediate download after we receive your order

DRM:
ACS4

Publication Year:
2021

ISBN-13: 9782746227071

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.